供应CBC标定板

CBC系列标定板

1.标定板基材概述 
材料 (Material)：**玻璃，石英玻璃，陶瓷；
较大尺寸（Max Size）：600mm×800mm；
厚度（Thickness）：1.6mm，2.3mm，3.0mm，4.8mm等，误差±0.2mm；
光学密度（Optical Density，λ=450nm)：空位3.0±0.3，镀位±0.3；
反射率（Reflectivity，λ=450nm)：空位10±5%，镀位±2%； 
 
2.标定板精度概述 
总长精度：±5.0μm；
图形尺寸精度：±1.0μm ～ ±3.0μm； 
图形位置精度：±1.0μm ～ ±3.0μm；
线条精度：±1μm； 
缝宽均匀度：≤1μm； 

3.标准产品  
NANO CBC25MM-1.0
外形：25mm×25mm×3.0mm，图形：棋盘格1.0mm×1.0mm
 
NANO CBC50MM-1.0
外形：50mm×50mm×3.0mm，图形：棋盘格1.0mm×1.0mm 
 
NANO CBC75MM-2.0
外形：75mm×75mm×3.0mm，图形：棋盘格2.0mm×2.0mm 
 
NANO CBC100MM-2.0
外形：100mm×100mm×3.0mm，图形：棋盘格2.0mm×2.0mm
 
NANO CBC200MM-5.0
外形：200mm×200mm×3.0mm，图形：棋盘格5.0mm×5.0mm
 
 
※ 标定板厚度可选1.6mm，2.3mm，3.0mm，4.8mm；
※ 1级精度指图形尺寸精度与图形位置精度为±1.0μm，2级精度指图形尺寸精度与图形位置精度±2.0μm，3级精度指图形尺寸精度与图形位置精度为±3.0μm；
※ 产品刻画图案可在标准产品基础上定制。